Detailansicht

Rettenberger.
Ihr leistungsstarker Partner
in der Metallveredelung!

 
15.08.2016

Was versteht man unter LIGA?

Heute stellen wir im Newsbereich das Fertigungsverfahren LIGA vor. Es setzt sich aus Lithographie, Galvanik und Abformung zusammen.

Das sogenannte LIGA (Verfahrensschritte: Lithographie, Galvanik, Abformung) ist ein Fertigungsverfahren, welches die Tiefenfotolithographie, Galvanik und Mikroabformung beinhaltet. Es wurde anlässlich der Herstellung von extrem kleinen Trenndüsen im Kernforschungszentrum Karlsruhe Anfang der 80er Jahre entwickelt. Heutzutage wird das Verfahren in der Mikrosystemtechnik bei der Herstellung von Strukturen mit sehr hohen Aspektverhältnissen eingesetzt. Hauptbestandteile von LIGA sind die einzelnen Schritte Belichten, Entwickeln und Galvanik. Um komplexe Strukturen herstellen zu können, müssen die einzelnen Verfahrensschritte mitunter mehrmals vollzogen werden. Je nach Herstellung wird zwischen der Röntgen-LIGA, welche Röntgen-Strahlen verwendet, und der UV-LIGA, beinhaltet ultraviolettes Licht, unterschieden.

 

Rettenberger Metallveredelung

Industriestr. 1F
78112 St. Georgen/Schwarzwald
Baden-Württemberg
Deutschland

Fon:+ 49 (0) 77 24 - 91 86 7-0
Fax:+ 49 (0) 77 24 - 91 86 7-29
E-Mail: info[at]rettenberger.com